硅中硼檢測(cè)
實(shí)驗(yàn)室擁有眾多大型儀器及各類(lèi)分析檢測(cè)設(shè)備,研究所長(zhǎng)期與各大企業(yè)、高校和科研院所保持合作伙伴關(guān)系,始終以科學(xué)研究為首任,以客戶(hù)為中心,不斷提高自身綜合檢測(cè)能力和水平,致力于成為全國(guó)科學(xué)材料研發(fā)領(lǐng)域服務(wù)平臺(tái)。
立即咨詢(xún)網(wǎng)頁(yè)字號(hào):【大 中 小 】 | 【打印】 【關(guān)閉】 微信掃一掃分享:
注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試望見(jiàn)諒。
聯(lián)系中化所
硅中硼檢測(cè)哪里可以做?中析研究所實(shí)驗(yàn)室提供硅中硼檢測(cè)服務(wù),出具的硅中硼檢測(cè)報(bào)告支持掃碼查詢(xún)真?zhèn)巍7?wù)領(lǐng)域:半導(dǎo)體工業(yè)、玻璃工業(yè)、陶瓷工業(yè)、核工業(yè)、冶金工業(yè)、化學(xué)合成、電池材料和防腐涂料。服務(wù)項(xiàng)目:硼含量檢測(cè)、雜質(zhì)檢測(cè)、結(jié)晶質(zhì)量檢測(cè)、電學(xué)性能檢測(cè)等。實(shí)驗(yàn)室工程師嚴(yán)格按照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行實(shí)驗(yàn),并且提供非標(biāo)實(shí)驗(yàn)定制服務(wù)。
檢測(cè)周期:7-15個(gè)工作日,參考周期
檢測(cè)樣品
多晶硅,單晶硅,多晶硅片,單晶硅片,硅膜
檢測(cè)項(xiàng)目
硼含量檢測(cè):確定硅樣品中硼的含量。這可以通過(guò)化學(xué)分析方法,如原子吸收光譜(AAS)或電感耦合等離子體發(fā)射光譜(ICP-OES)來(lái)進(jìn)行。
雜質(zhì)檢測(cè):除了硼之外,還需要檢測(cè)硅樣品中的其他雜質(zhì)元素,如金屬雜質(zhì)(鐵、銅、鋁等)和其他非金屬雜質(zhì)(氧、碳等)。這可以通過(guò)多種分析方法進(jìn)行,如質(zhì)譜儀、離子色譜儀等。
結(jié)晶質(zhì)量檢測(cè):對(duì)于硅中硼的晶體樣品,可以進(jìn)行結(jié)晶質(zhì)量的檢測(cè)。這包括晶體的純度、晶格結(jié)構(gòu)和晶體缺陷等方面的分析,可以使用X射線(xiàn)衍射(XRD)和掃描電子顯微鏡(SEM)等技術(shù)進(jìn)行。
電學(xué)性能檢測(cè):對(duì)于硼摻雜的硅材料,可以進(jìn)行電學(xué)性能的檢測(cè),如電導(dǎo)率、載流子濃度和遷移率等。這可以通過(guò)電學(xué)測(cè)試設(shè)備,如霍爾效應(yīng)測(cè)量?jī)x和四探針測(cè)量?jī)x等進(jìn)行。
檢測(cè)方法
原子吸收光譜(AAS):這是一種常用的化學(xué)分析方法,可以測(cè)定硅樣品中的硼含量。樣品通常通過(guò)酸溶解后,使用原子吸收光譜儀測(cè)量硼的吸收特征線(xiàn)來(lái)確定硼的濃度。
電感耦合等離子體發(fā)射光譜(ICP-OES):這是一種高靈敏度的光譜分析方法,可以用于測(cè)定硅樣品中硼的含量。樣品通常需要經(jīng)過(guò)酸溶解和稀釋后,使用ICP-OES儀器測(cè)量硼的發(fā)射光譜來(lái)確定其濃度。
質(zhì)譜法:質(zhì)譜法可以用于硅中硼的定量分析。樣品通常需要經(jīng)過(guò)溶解和適當(dāng)?shù)那疤幚砗螅褂觅|(zhì)譜儀測(cè)量硼的質(zhì)譜信號(hào)來(lái)確定其含量。
離子色譜法:離子色譜法可以用于測(cè)定硅樣品中硼的含量。樣品通常需要經(jīng)過(guò)溶解和稀釋后,使用離子色譜儀分離和測(cè)定硼離子。
核磁共振:核磁共振技術(shù)可以用于硅中硼的定量分析。該方法基于硼原子核的磁共振信號(hào)來(lái)確定硼的含量。
檢測(cè)儀器
原子吸收光譜儀(AAS),電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀(ICP-OES),質(zhì)譜儀,離子色譜儀,X射線(xiàn)衍射儀(XRD),掃描電子顯微鏡(SEM),霍爾效應(yīng)測(cè)量?jī)x、四探針測(cè)量?jī)x
檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 40109-2021 表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 硅中硼深度剖析方法
GB/T 20176-2006表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 用均勻摻雜物質(zhì)測(cè)定硅中硼的原子濃度
GB/T 32495-2016表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜硅中砷的深度剖析方法
GB/T 24580-2009重?fù)絥型硅襯底中硼沾污的二次離子質(zhì)譜檢測(cè)方法
GB/T 13389-2014摻硼摻磷摻砷硅單晶電阻率與摻雜劑濃度換算規(guī)程
GB/T 29851-2013光伏電池用硅材料中B、Al受主雜質(zhì)含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)量方法
GB/T 32281-2015太陽(yáng)能級(jí)硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測(cè)定 二次離子質(zhì)譜法
GB/T 29056-2012硅外延用三氯氫硅化學(xué)分析方法 硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測(cè)定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法
GB/T 34843-2017 3.3硼硅玻璃 性能

