標準編號：GB/T 4061-2009硅多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法
標準狀態：現行
標準簡介：本標準規定了以三氯氫硅和四氯化硅為原料在還原爐內用氫氣還原出的硅多晶棒的斷面夾層化學腐蝕檢驗方法。本標準關于斷面夾層的檢驗適用于以三氯氫硅和四氯化硅為原料,以細硅芯為發熱體,在還原爐內用氫氣還原沉積生長出來的硅多晶棒。
英文名稱： Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
替代情況： 替代GB/T 4061-1983
中標分類： 冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合
ICS分類： 電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門： 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
發布日期： 2009-10-30
實施日期： 2010-06-01
首發日期： 1983-12-20
提出單位： 全國半導體設備和材料標準化技術委員會
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