最大集電極-基極高溫截止電流檢測:核心檢測項目詳解
一、檢測項目定義與標準
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- JEDEC JESD22-A108(高溫工作壽命測試)
- MIL-STD-750(電子器件測試方法)
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- 溫度范圍:通常為 ??=125°?∼150°?Tj?=125°C∼150°C(結溫)。
- 偏置電壓:???VCB? 按器件規格書標稱值施加(如20V、50V)。
- 穩定時間:高溫環境下需恒溫至少30分鐘,確保熱平衡。
二、檢測設備與配置
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- 高低溫試驗箱:精度±1°C,支持快速升降溫。
- 高精度源測量單元(SMU):如Keysight B2900系列,分辨率達pA級。
- 探針臺或夾具:耐高溫設計,減少接觸電阻。
- 屏蔽箱:抑制環境電磁干擾。
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- 采用四線制開爾文連接,消除引線電阻影響。
- 基極開路,集電極-基極間施加反向偏壓,發射極懸空(圖1)。
[測試電路示意圖] V_CB (+) ---|晶體管 C| |B (開路) |E (懸空) GND (-) ----|
三、檢測步驟詳解
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- 器件老化:按規格進行24小時常溫老化,排除早期失效。
- 校準設備:SMU零點校正,高溫箱溫度傳感器校準。
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- 將器件置于試驗箱,以 5°?/???5°C/min 升至目標溫度。
- 熱耦合驗證:使用紅外熱像儀監測結溫均勻性。
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- Step 1:施加 ???VCB? 至額定值(如50V),穩定5分鐘。
- Step 2:通過SMU讀取 ????ICBO? 穩態值,采樣時間≥1分鐘。
- Step 3:重復測試3次,取平均值作為最終結果。
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- 記錄溫度、電壓、電流及環境濕度。
- 異常點標注(如電流突跳需排查接觸不良)。
四、關鍵注意事項與誤差控制
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- 熱噪聲:高溫導致載流子激發,需使用低噪聲線纜。
- 接觸失效:探針氧化造成阻抗升高,定期清潔觸點。
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- 實測 ????(???)ICBO(max)? ≤ 數據手冊標稱值的150%(行業容忍閾值)。
- 若超出范圍,需結合失效分析(如SEM/EDS檢查材料缺陷)。
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- 高溫操作佩戴隔熱手套,避免燙傷。
- 測試后需冷卻至室溫后再取出器件,防止熱沖擊。
五、應用案例與結果分析
- 合格數據:1.2μA(規格值≤2μA)。
- 失效分析:電流超標樣品經解剖發現基極區金屬遷移,導致漏電通道。
六、


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