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GB/T 6624-2009硅拋光片表面質量目測檢驗方法
GB/T 6624-2009硅拋光片表面質量目測檢驗方法,本標準規(guī)定了在一定光照條件下,用目測檢驗單晶拋光片(以下簡稱拋光片)表面質量的方法。本標準適用于硅拋光片表面質量檢驗。外延片表面質量目測檢驗也可參考本方法進行。
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GB/T 6620-2009硅片翹曲度非接觸式測試方法
GB/T 6620-2009硅片翹曲度非接觸式測試方法,本標準規(guī)定了硅單晶切割片、研磨片、拋光片(以下簡稱硅片)翹曲度的非接觸式測試方法。本標準適用于測量直徑大于50mm,厚度大于180μm 的圓形硅片。本標準也適用于測量其他半導體圓片的翹曲度。本測試方法的目的是用于來料驗收或過程控制。本測試方法也適用于監(jiān)視器件加工過程中硅片翹曲度的熱化學效應。
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GB/T 11072-2009銻化銦多晶、單晶及切割片
GB/T 11072-2009銻化銦多晶、單晶及切割片,本標準規(guī)定了銻化銦多晶、單晶及單晶切割片的產品分類、技術要求和試驗方法等。本標準適用于區(qū)熔法制備的銻化銦多晶及直拉法制備的供制作紅外探測器和磁敏元件等用的銻化銦多晶、單晶及切割片。
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GB/T 11718-2009中密度纖維板
GB/T 11718-2009中密度纖維板,本標準規(guī)定了中密度纖維板的術語、定義和縮略語、分類和附加分類、要求、測量和試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和貯存等。
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GB/T 12467.3-2009金屬材料熔焊質量要求 第3部分:一般質量要求
GB/T 12467.3-2009金屬材料熔焊質量要求 第3部分:一般質量要求,本部分規(guī)定了金屬材料熔焊的一般質量要求。本部分適用于車間及現(xiàn)場的焊接。本標準適用于干法生產的中密度纖維板。
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GB/T 12718-2009礦用高強度圓環(huán)鏈
GB/T 12718-2009礦用高強度圓環(huán)鏈,本標準規(guī)定了礦用高強度圓環(huán)鏈(以下簡稱圓環(huán)鏈)的術語和定義、型式尺寸、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于煤礦用刮板輸送機、刮板轉載機、懸臂式掘進機、刨煤機、滾筒采煤機及其他機械牽引鏈,不適用于作起重鏈和懸掛鏈。
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GB/T 13387-2009硅及其它電子材料晶片參考面長度測量方法
GB/T 13387-2009硅及其它電子材料晶片參考面長度測量方法,本標準用于標稱圓形晶片邊緣平直部分長度小于等于65mm 的電學材料。本標準僅對硅片精度進行確認,預期精度不因材料而改變。本標準適用于仲裁測量,當規(guī)定的限度要求高于用尺子和肉眼檢測能夠獲得的精度時,本標準也可用于常規(guī)驗收測量。
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GB/T 14139-2009硅外延片
GB/T 14139-2009硅外延片,本標準規(guī)定了硅外延片的產品分類、技術要求、試驗方法和檢驗規(guī)則及標志、包裝運輸、貯存等。本標準適用于在N 型硅拋光片襯底上生長的n型外延層(N/N+ )和在p型硅拋光片襯底上生長的P型外延層(P/P+ )的同質硅外延片。產品主要用于制作硅半導體器件。其他類型的硅外延片可參照使用。
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